江苏省技术产权交易市场

精密薄膜电路研发及应用
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发布时间: 2023-11-30 15:40:46 剩余时间: 271天
需求编号
FT5563618171175936
发布者
盐城万创技术转移有限公司
需求状态
待解决
意向投入
¥200,000元
联系方式
153xxxx9499 【点击查看】
佣金金额
面议
升级石英环洗净技术,形成晶圆刻蚀机用超净石英环石英环生产规模化
主要技术参数:
1超净石英环产品表面洁净度指标达包括表面无机物、表面有机物、表面颗粒物残留指标等到HPQ石英品202class3洗净标准,产品可匹配7nm以下晶圆刻蚀机使用。
2不同规格的超净石英环直径、平行度等加工精度指标分别达到±0. 1mm、±0. 05mm;表面粗糙度<1nm.
312英寸以上大尺寸超净石英环制造一次合格率75%以上。
技术领域
电子信息,计算机产品及其网络应用技术
需求类型
关键技术研发
有效期至
2024-11-30
合作方式
合作开发
需求来源
所在地区
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