技术要求：
1、研究开发化学过滤器释气中超低痕量的氨气、挥发性有机物、阴阳离子、二氧化硫检测方法，检出限不超过0.1×10-9mol/mol。
2、解决化学过滤器低浓度（上游不超过20×10-9mol/mol）效率检测的关键难题，如低背景浓度控制、污染物发生量精细调控、上下游浓度采样优化，提高检测准确度和重复性，CV值优于3%（n=10）
高性能化学过滤器用于控制高等级电子洁净室分子化学污染物浓度，但化学过滤器本身也可能存在释气污染，希望开发过滤器超低浓度释气检测方法，并解决化学过滤器效率检测的关键技术难题